Growth temperature dependent strain in relaxed Ge microcrystals

• Název česky: Pnutí v relaxovaných Ge microcrystalech závislé na teplotě růstu
• Autoři: MEDUŇA Mojmír; FALUB Claudiu Valentin; ISA Fabio; VON KÄNEL Hans
• Rok publikování: 2018
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Thin Solid Films
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Doi: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.08.033
• Klíčová slova: Patterned substrates; Silicon substrates; Germanium; Nanocrystals; X-ray diffraction; Crystal Defects; Low energy plasma enhanced chemical vapor deposition
• Popis: Použitím rtg difrakce s vysokým rozlišením při mapování reciprokého prostoru získáváma mřížkové parametry, pnutí a stupeň relaxace pro různé teploty růstu mikrokrystalů.

Související projekty

• CEITEC - středoevropský technologický institut
• CEITEC - open access
• CEITEC Nano+