Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Strukturní a feromagnetické vlastnosti naprašovaných měkkých magnetických multivrstev FeCoB/AlN pro GHz aplikace
Autoři	FALUB Claudiu Valentin HIDA Rachid MEDUŇA Mojmír ZWECK Josef MICHEL Jean-Philippe SIBUET Henri SCHNEIDER Daniel BLESS Martin RICHTER Jan H. ROHRMANN Hartmut
Rok publikování	2017
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/7924320/
Doi	https://doi.org/10.1109/TMAG.2017.2703175
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	FeCoB; high-frequency permeability; magnetic multilayers; magnetron sputtering; soft magnetic materials
Popis	V tomto článku jsme studovali strukturní a magnetické vlastnosti amorfních tenkovrstvých vrstev FeCoB/AlN s rovinnou jednoosovou magnetickou anizotropií založenou na slitině Fe-28% Co-20% B, vypěstované na 8" Si/200 nm-termo-SiO2 deskách v průmyslovém, vysoce výkonném magnetronovém rozprašovacím systému.
Související projekty:	CEITEC - středoevropský technologický institut CEITEC - open access CEITEC 2020