Studying an influence of a nucleation phase on nanocrystalline diamond film properties
| Název česky | Studium vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Acta Metallurgica Slovaca |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | nanokrystalline diamond; plasma enhanced CVD; bias enhanced nucleation; hardness |
| Popis | Práce se věnuje studiu vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev. Byly určeny mechanické a optické vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly charakterizovány rovněž pomocí AFM a HRSEM. |
| Související projekty: |