Investigation of the mechanical properties of the thin tungsten films deposited by Thermionic Vacuum Arc (TVA) methode
| Název česky | Vyšetření mechanických vlastností tenkých wolframových vrstev připravených metodou TVA |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | 18th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-Papers CD |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | TVA;tungsten;mechanical properties |
| Popis | Vyšetření mechanických vlastností tenkých wolframových vrstev připravených metodou TVA |
| Související projekty: |