Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu
Autoři	ZŮDA Jaroslav BURŠÍKOVÁ Vilma ČECH Jan SŤAHEL Pavel
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	JUNIORMAT'05
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition
Popis	V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.
Související projekty:	Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů