Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin films

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KLAPETEK Petr OHLÍDAL Ivan
Rok publikování	2003
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Ultramicroscopy
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	columnar films; atomic force microscopy
Popis	In this paper a theoretical analysis of atomic force microscopy measurements of columnar thin films is presented. Errors originating from tip convoution effects are evaluated.
Související projekty:	Realizace laboratorního vzoru zařízení pro měření drsnosti povrchu metodou holografické interferometrie Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou