Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav FRANTA Daniel TYKAL Miroslav
Rok publikování	1999
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE3820_456.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Coherent optics; Surface roughness; Metrology
Popis	The values of the basic characteristics of surface roughness measured by means of optical and non-optical methods often differ mutually. So far a systematic comparison of the results obtained by those methods has not been done. The results we have achieved comparing optical and non-optical methods of the surface roughness measurement for selected samples of rough surfaces and for selected methods are presented.
Související projekty:	Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod