MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Středoevropský technologický institut. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	MEMS senzor na bázi autoemise uhlíkových nanotrubek se zjednodušeným designem: studie autoemise a chování senzoru
Autoři	PEKÁREK Jan VRBA Radomír PRÁŠEK Jan JAŠEK Ondřej MAJZLIKOVA Petra PEKÁRKOVÁ Jana ZAJÍČKOVÁ Lenka
Rok publikování	2015
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	IEEE Sensors Journal
Fakulta / Pracoviště MU	Středoevropský technologický institut
Citace
www	IEEE Web
Doi	https://doi.org/10.1109/JSEN.2014.2363213
Obor	Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova	Carbon nanotubes; field emitter arrays; microelectromechanical systems; microwave torch
Přiložené soubory	MEMS_Carbon_Nanotubes_Field_Emission_Pressure_Sensor_With_Simplified_Design_Performance_and_Field_Emission_Properties_Study.pdf ZVV_2015_1219886_MEMS_Carbon_Nanotubes.pdf
Popis	Aplikace senzorů tlaků mají v poslední době velký význam. V tomto článku je MEMs senzor založený na nanostrukturované elektrodě obsahující pole uhlíkových nanotrubek připravených pomocí metody PECVD mikrovlnných pochodňovým výbojem.
Související projekty:	Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností CEITEC - středoevropský technologický institut