Humidity resistant hydrogenated carbon nitride films

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Středoevropský technologický institut. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Vlhkostně odolné hydrogenované vrstvy nitridu uhlíku
Autoři	MIKMEKOVÁ Eliška POLČÁK J. SOBOTA Jaroslav MÜLLEROVÁ Ilona PEŘINA Vratislav CAHA Ondřej
Rok publikování	2013
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Applied Surface Science
Fakulta / Pracoviště MU	Středoevropský technologický institut
Citace
www	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433213005011
Doi	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.03.033
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Hydrogenated carbon nitride films; Magnetron sputtering; Compressive stress; Desorption; High resolution scanning low energy electron microscopy
Popis	Vrstvy připravené magnetronovým naprašováním s příspěvkem vodíku a následným žíháním vykázaly zlepšení adhezivity k substrátu a stability ve vlhkém prostředí.
Související projekty:	CEITEC - středoevropský technologický institut Elektronové a strukturní vlastnosti trojrozměrných topologických izolantů