Diffuse coplanar surface barrier discharge for cleaning and activation of glass substrate
| Název česky | Difúzní koplanární výboj pro čištění a aktivaci skleněných substrátů |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2012 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Chem. listy |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | barrier discharge; DCSBD; plasma cleaning |
| Popis | DCSBD výboj byl použit pro čištění a aktivaci skleněných substrátů. Povrch substrátů byl analyzován pomocí AFM. |
| Související projekty: |