Comparison of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by magnetron sputtering in well balanced and highly unbalanced magnetic field

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr BURŠÍK Jiří PEŘINA Vratislav PEI Yutao DE HOSSON Jeff Th.M.
Rok publikování	2012
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	magnetron sputtering; titanium carbide; nanocomposite
Popis	nc-TiC/a-C:H coatings were prepare using a well balanced and highly unbalanced magnetron sputtering. Both series were found to show similar trends in mechanical and tribological properties depending only on the carbon content in the nc-TiC/a-C:H coatings.
Související projekty:	Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev