Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Thin Films Deposited Using Dual Frequency Discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Mechanické vlastnosti ultrananokrystalickýh tenkých vrstev deponovaných pomocí dvoufrekvenčního výboje
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma BLÁHOVÁ Olga KARÁSKOVÁ Monika ZAJÍČKOVÁ Lenka JAŠEK Ondřej FRANTA Daniel KLAPETEK Petr BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2011
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	CHEMICKÉ LISTY
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.chemicke-listy.cz/docs/full/2011_14_s98-s101.pdf
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	ultrananocrystalline diamond; plasma enhanced chemical vapor deposition; dual frequency discharge; local mechanical properties
Popis	Práce popisuje depozici nanostrukturních diamantových vrstev s nízkou povrchovou drsností, vysokou tvrdostí a odolností vůči zlomu. Ta byla prováděna metodou mikrovlného PECVD v reaktoru typu ASTeX. Užitými plyny byly vodík a metan
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie