Reaction of higher harmonic frequencies on thin films

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Reakce vyšších harmonických frekvencí na přítomnost tenkých vrstev
Autoři	DVOŘÁK Pavel ŽEMLIČKA Radek BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr ŠPERKA Jiří
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Reakce vyšších harmonických frekvencí na vytvoření nebo odleptání tenké vrstvy.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích