Characterization of ultrananocrystalline diamond thin films  using low energy scanning electron microscopy

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ŠPERKA Jiří ZAJÍČKOVÁ Lenka JAŠEK Ondřej DVOŘÁK Pavel MIKMEKOVÁ Šárka SCHÄFER Jan
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	This paper deals with the low energy scanning electron microscopy characterization of ultrananocrystalline diamond films. These films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using dual frequency discharge.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností