Deposition and analyses of hard and thick well adherent nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD process

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr JÍLEK Mojmír EL MEL Abdelaziz TESSIER Pierre-Yves SCHÄFER Jan BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Deposition and analyses of hard and thick well adherent nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD process. Severeal micrometers thick coatings with hardness over 45 GPa and Young's modulus over 400 GPa was reached.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy