Mechanical properties of thin films deposited by TVA and G-TVA methods

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Mechanické vlastnosti tenkých vrstev, připravených metodami TVA a G-TVA
Autoři	STOICA Adrian VLADOIU Rodica MUSA Geavit CIUPINA Victor CONTULOV Mirela BURŠÍKOVÁ Vilma BLÁHOVÁ Olga
Rok publikování	2011
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Chemicke Listy
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.chemicke-listy.cz/common/article-vol_105-issue_14-page_s132.html
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Thermionic Vacuum Arc; Gaseous Thermionic Vacuum Arc; DLC coatings; nanoindentation
Popis	Thermionic vakuové Arc (TVA) plazma je velmi perspektivní technologií umožňující růst tenkých vrstev ve vakuu. Použitím této technologie bylo připraveno řada materiálů, a to i např. žáruvzdorné. V tomto příspěvku pro syntézu DLC je popsáno rozšíření metody TVA pomocí reaktivních plynů (G-TVA). Použití metanu,významně rozšiřuje použitelnost techniky TVA pro syntézu tenkých vrstev z pevné látky a plynových prekurzorů.Byly studovány mechanické vlastnosti deponovaných vrstev filmů. Popsané metody umožňují připravit uhlíkové vrstvy s širokou škálou mechanických vlastností od polymerupodobných uhlíkových vrstev až po tvrdých diamantupodobných vrstev.
Související projekty:	Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie