Defect Engineering in Czochralski-grown Silicon Studied by TEM
| Název česky | Inženýrství defenktů v CZ Si studovaném pomocí TEM |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2010 |
| Druh | Konferenční abstrakty |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Popis | Jako součást složité studie nukleace a růstu kyslíkových precipitátů v CZ křemíku, tato práce popisuje výsledky získané z transmisní elektronové mikroskopie. |
| Související projekty: |