Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Optimalizovaná kalibrace a proces měření v elipsometrii s rotačním analyzátorem či polarizátorem
Autoři	MÜNZ Filip HUMLÍČEK Josef MARŠÍK Přemysl
Rok publikování	2011
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Doi	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.063
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	ellipsometry: spectroscopic; analyzer: rotating
Popis	Přesná elipsometrická měření (SE) s rotačním polarizátorem nebo analyzátorem vyžadují správné hodnoty azimutů polarizačních prvků. Zatímco přesnost odečtu bývá obvykle dostatečná, skutečná hodnota je ovlivněna i odchylkou mezi rovinou dopadu, fyzickými osami prvků a přístrojovými stupnicemi. Tato odchylka bývá stanovena zvláštními kalibračními procedurami. Navrhujeme způsob SE měření, při kterých lze získat kalibrační údaje spolu s měřenými daty. Používáme několik nastavení polarizátoru nebo analyzátoru s optimalizací přesnosti a správnosti SE měření. Optimalizace se vztahuje na volbu parametrů i proces následné analýzy dat. Uvádíme také příklad měření ve viditelné a ultrafialové oblasti.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur