SYNTHESIS OF CARBON NANOSTRUCTURES BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Syntéza uhlíkových nanotrubek metodou PECVD za atmosférického tlaku
Autoři	JAŠEK Ondřej SYNEK Petr ZAJÍČKOVÁ Lenka ELIÁŠ Marek KUDRLE Vít
Rok publikování	2010
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of Electrical Engineering
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	web časopisu
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	carbon nanostructures; plasma enhanced chemical vapour deposition; atmospheric pressure
Přiložené soubory	v10187-011-0049-9.pdf
Popis	Uhlíkové nanostruktury patří mezi vedoucí nanotechnologický výzkum. K syntéze uhlíkových nanostruktur lze použít širokou škálu chemických a fyzikálních metod jako například obloukové výboje, laserovou ablaci a CVD. PECVD se svých uplatněním v mikroelektronice se brzy stalo cílem výzkumu i v této oblasti. Výběr metod úzce souvisí s aplikací dané technologie. Ačkoli mnoho metod pracuje při nízkém tlaku, z hlediska aplikací by bylo vhodné použít metodou pracující za atmosférického tlaku. V této publikaci jsou shrnuty metody syntézy uhlíkových nanostruktur za atmosférického tlaku.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností