Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Sledování stavu otrávení magnetronového terče pomocí vyšších harmonik výbojových napětí
Autoři	DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr
Rok publikování	2010
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Sci. Technol.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering
Popis	Monitorování tvorby otrávené vrstvy na povrchu magnetronového terče pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojových napětí a testování fyzikálních důvodů pro reakci vyšších harmonik na přechod mezi kovovým a otráveným režimem.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev