Diagnostics of reactive magnetron sputtering

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování
Autoři	VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza
Rok publikování	2010
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Monitorování reaktivního magnetronového naprašování pomocí měření vyšších harmonických frekvencí napětí.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev