Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Návrh a výroba vysokoteplotních SOI napěťových senzorů
Autoři	KULHA P. BOURA A. HUSÁK M. MIKULÍK Petr KUČERA Milan VALENDA Stanislav
Rok publikování	2008
Druh	Článek ve sborníku
Konference	7th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova	High-Temperature SOI Strain-Gauges; sensors
Popis	Článek je věnován piezorezistivním senzorů. Jejich návrh byl provedený softwarem CoventorWare, který umožnil mehcanickou a elektrickou charakterizaci struktury. Podle návrhu byly vyrobeny jednoduché pasivní elementy na SIMOX SOI s naprášenou AlCuSi metalizací a provedena jejich charakterizace.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur