Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Bezkontaktní měření teploty při depozici uhlíkových nanotrubek v reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlakna
Autoři	KOLMAČKA Michal KADLEČÍKOVÁ Magdaléna BREZA Juraj LAZIŠŤAN Filip ZAJÍČKOVÁ Lenka ELIÁŠ Marek JESENÁK Karol PASTORKOVÁ Katarína
Rok publikování	2009
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of Electrical Engineering
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	carbon nanotubes; chemical vapour deposition; isolation amplifier
Popis	Experimentální práce se zabývá měřením teploty reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlákna připraveným elektronickým zařízení. Cílem bylo najít optimální teplotu substrátu, která je jedním z klíčových parametrů při syntéze uhlíkových nanotrubek. Hlavním výsledkem práce je návrh a konstrukce funkčního teploměru, jeho přesná kalibrace a zlepšení přesnosti měření teploty.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemická depozice (PECVD) uhlíkových nanotrubek Příprava uhlíkových nanostruktur metodami CVD a jejich charakterizace