Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu.
Autoři	SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr
Rok publikování	2009
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev