Investigation of Neon RF Discharge by Means of Refined Collisional-Radiative model
| Název česky | Studium RF výboje v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2008 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Programme & Abstract Book of 23rd Symposium on Plasma Physics and Technology, Prague, Czech Republic, 13.-19.June 2008 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | rf discharge; collisional-radiative model; optical emission spectroscopy; neon |
| Popis | Dříve vyvinutý srážkově-radiační model byl použit ke studiu kapacitně vázaného RF výboje (13,56 MHz) v neonu. Spolu s absolutním měření intenzity záření bylo možné stanovit teplotu a koncentraci elektronů. |
| Související projekty: |