Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KELAR Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma BOCHNÍČEK Zdeněk
Rok publikování	2008
Druh	Článek ve sborníku
Konference	CESPC II - Book of extended abstracts
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	carbon films ;PECVD
Popis	Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích