Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Artefakty v elipsometrii s rotačním kompenzátorem: analýza a zacházení s daty
Autoři	MARŠÍK Přemysl HUMLÍČEK Josef
Rok publikování	2008
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	physica status solidi (c)
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	ellipsometry; rotating compensator
Popis	Elipsometrie s rotujícím kompenzátorem, používající vícedeskové retardéry, může trpět různými artefakty. Naše měření v oboru 1.4 až 6.2 eV odhalila rušivé oscilace elipsometrických parametrů Tyto oscilace přiřazujeme nesouladu úhlových poloh jednotlivých desek retardéru.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur