Measurement of ions in H2 - N2 capacitively coupled discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Měření iontů v kapacitně vázaném výboji buzeném ve směsi vodíku a dusíku
Autoři	DVOŘÁK Pavel JANČA Jan
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	ions; plasma ; capacitively coupled; hydrogen; nitrogen
Popis	Byly měřeny relativní koncentrace kladných iontů a neutrálních molekul v nízkotlakém kapacitně vázaném plazmatu buzeném ve směsi vodíku a dusíku, zejména ve směsích s převahou vodíku. Dominantními ionty byly částice H3+ a N2H+, ve velkém množství byly přítomné i amonné ionty NH4+.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek