Generation of XeI UV Excimer Radiation by diffuse coplanar surface discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Generace XeI UV excimerního záření pomocí difuzního koplanárního povrchového výboje
Autoři	BRABLEC Antonín GUIVAN N. N. SŤAHEL Pavel SLAVÍČEK Pavel SHIMON L. L. JANČA Jan
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	XIIVth symposium on Physics of Switching Arc, Vol. II: Invited Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	excimer radiation; dielectric barrier discharge
Popis	Generace excimerního UV záření molekulami XeI pomocí diffusního koplanárního povrchového výboje a určení optimálních parametrů zařízení, jakož i pracovních tlaků, poměru jednotlivých plynů ve směsi a další.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek