Preparation of protective coatings on polycarbonate from CH4/HMDSZ mixture using PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Příprava ochranných vrstev na polykarbonát ze směsi methanu a HMDSZ s použitím PECVD
Autoři	KELAR Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Juniormat 07
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	PECVD; polycarbonate; HMDSZ
Popis	Předmětem příspěvku byla příprava ochranných vrstev na polykarbonát ze směsi methanu a HMDSZ s použitím PECVD a charkterizace vlastností připravených vzorků.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie