UV light enhanced oxidation of a-C:H thin film in air: A study of thickness reduction

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Oxidace a-C:H tenké vrstvy pod UV světlem na vzduchu. Studie poklesu tloušťky
Autoři	VALTR Miroslav KLAPETEK Petr OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Optoelectronics and Advanced Materials - Rapid Communications
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://inoe.inoe.ro/oam-rc/
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Amorphous carbon;Thin film;Optical properties;a-C:H;UV enhanced oxidation;Reflectance spectra
Popis	Oxidace a-C:H tenké vrstvy pod UV světlem na vzduchu. Studie poklesu tloušťky.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie