Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu
Autoři	VAŠINA Petr MEŠKO Marcel IMBERT Jean-Christophe GANCIU Mihai BOISSE-LAPORTE Caroline DE POUCQUES Ludovic TOUZEAU Michel PAGNON Daniel BRETAGNE Jean
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	magnetron; sputtering; high power pulses
Popis	Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu, článek
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek