Analysis of the Transport of Ionized Titanium Atoms in a Highly Ionized Sputter Deposition Process

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu
Autoři	DE POUCQUES Ludovic IMBERT Jean-Christophe BOISSE-LAPORTE Carolline BRETAGNE Jean GANCIU Mihai TEULÉ-GAY Lionel VAŠINA Petr TOUZEAU Michel
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma processes and polymers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	ambipolar difussion; charged particle transport; high power pulsed; magnetron sputtering
Popis	Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu, článek
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek