Sheath resistance in RF discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Odpor stěnové vrstvy ve vysokofrekvenčních výbojích
Autoři	DVOŘÁK Pavel JANČA Jan
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	sheath resistance discharge probe
Popis	Příspěvek studuje odpor stěnové vrstvy v kapacitně vázaném výboji. Byla pozorována její nelinearita vzhledem ke stejnosměrnému proudu, tj. odpor stěnové vrstvy závisel na procházejícím stejnosměrném proudu. Nelineární chování stěnové vrstvy může být v některých případech využito k přibližnému určení parametrů plazmatu.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu