Spatially resolved optical diagnostics of neon RF discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Prostorově rozlišená optická diagnostika RF výboje v neonu
Autoři	NAVRÁTIL Zdeněk MATÚŠKA Ján TRUNEC David MATEJČÍK Štefan ŠMÍD Radek LAZAR Lukáš
Rok publikování	2007
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Book of Abstracts of 16th Symposium on Application of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
Popis	Kapacitně vázaný RF výboj v neonu (13.56 MHz) byl studován prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopií a srážkově-radiačním modelem. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Z měřených intenzit výrazných spektrálních čar neonu a srážkově-radiačního modelu byla stanovena teplota elektronů ve výboji.
Související projekty:	Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu