In-situ investigations of Si and Ge interdiffusion in Si cascade structures

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	In-situ studie Si a Ge interdifuse v Si kaskádových strukturách
Autoři	MEDUŇA Mojmír NOVÁK Jiří HOLÝ Václav BAUER Günther FALUB Claudiu TSUJINO Soichiro GRÜTZMACHER Detlev
Rok publikování	2006
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Synchrotron Radiation in Natural Sciences
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	x-ray reflectivity; multilayers; interdiffusion; SiGe
Popis	Zaměřujeme se na studium teplotní stabitlity jednoduchých deformačně symetrizovaných SiGe/Si multivrstev navrhnutých podobně tak jako komplikované kvantově kaskádové struktury s obsahem Ge 30% a 80%. Reciproké mapy rtg reflexe a difrakce všech struktur byly zaznamenány při pokojové teplotě a během isotermického žíhání pro teploty v rozsahu od 550 C do 824 C.
Související projekty:	Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur