Deposition of protective couatings in RF organosilicon discharges

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Depozice ochranných povrchů ve vf. organosilikonových výbojích
Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel KUČEROVÁ Zuzana BOUSQUET Angelique GOULLET Antoine GRANIER Agnes
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	In Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, 18th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	deposition-organosilicon-discharge
Popis	cílem této publikace bylo studovat depozici ochranných vrstev ve vf. organosilikonových výbojích
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou