Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

• Název česky: Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; FRGALA Zdeněk; BURŠÍK Jiří; JAŠEK Ondřej; ZAJÍČKOVÁ Lenka; KARÁSKOVÁ Monika; MATĚJKOVÁ Jiřina; REK Antonín; FRANTA Daniel; KLAPETEK Petr
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: E-MRS 2006 Fall meeting
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage
• Popis: Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů