X-ray microdiffraction imaging investigations of wing tilt in epitaxially overgrown GaN
| Název česky | Studium rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN rtg mikrodifrakčním zobrazováním |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Physica stat.sol.(a) |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertMikulikPernot-pssa-2006 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO |
| Popis | Krystalová kvalita v epitaxně přerostlých (ELO) GaN vrstvách a velikost rozorientace křídel jsou charakterizovány lokálně, s vysokým prostorovým i úhlovým rozlišením. K tomu jsme použili metodu plného zobrazení rtg mikrodifrakčním zobrazením, též zvaného rocking curve imaging (RCI). ELO okna a křídla mohou být jasně separována; srovnání ukazuje na zlepšení krystalinity faktorem 3–4 díky procesu laterálního přerostení. |
| Související projekty: |