Spectroscopic Ellipsometry as a Tool for On-Line Monitoring and Control of Surface Treatment Processes

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Spektroskopická elipsometrie jako nástroj pro on-line monitorování a řízení povrchových procesů
Autoři	EITZINGER Christian FIKAR Jan FORSICH Christian HUMLÍČEK Josef
Rok publikování	2006
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Science Forum
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	surface treatment; spectroscopic ellipsometry; on-line monitor; closed loop control; nitriding
Popis	Moderní materiálové technologie se stále více opírají o procesy modifikace povrchů a povrchových pokrytí. Obecně chybí možnost monotorování postupu takových procesů.Výsledek pak může být analyzován až po skončení procesního cyklu. Navrhujeme použití spektroskopické elipsometrie (SE) jako on-line nástroje monitorování. Jde o optickou metodu, která není ovlivněna vysokými teplotami, procesními plyny, plasmatem apod. Používáme prokládací proceduru k získání materiálových charakteristik z naměřených SE dat. Očekáváme zvýšenou stabilitu procesu a kratší vývojový čas jako praktický zisk z použití SE.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur