Spatial characterization of an IPVD reactor: neutral gas temperature and interpretation of optical spectroscopy measurements

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Prostorove rozlisena charakterizace IPVD reaktoru: teplota jako klicovy parametr pro interpretaci opticke emisni spektroskopie
Autoři	DE POUCQUES Ludovic IMBERT Jean-Christophe BOISSE-LAPORTE Caroline VAŠINA Petr BRETAGNE Jean TEULÉ-GAY Lionel TOUZEAU Michel
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	physical vapor deposition; ionised physical vapor deposition; titanium; metal ionisation; density; magnetron
Popis	Studium IPVD reaktoru s Ti katodou. Teplota jako klicovy parametr pro interpretaci vysledku.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu