Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium mechanických vlastností tenkých vrstev kombinací nanotvrdosti a AFM
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma KLAPETEK Petr BOUSQUET Angelique ELIÁŠ Marek
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Jemná mechanika a optika
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	nanoindentation; AFM; thin films; mechanical properties
Popis	Studium mechanických vlastností tenkých vrstev připravených v plazmatu kombinací AFM a nanoindentace.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů