Optical Emission Spectroscopy in HMDSO/O2 RF Glow Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Optická emisní spektroskopie v HMDSO/O2 vysokofrekvenčních doutnavých výbojích
Autoři	ŠMÍD Radek ZAJÍČKOVÁ Lenka
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS'05 Proceedings of Contributed Papers, Part II
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/contents/wds05.htm
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Optical emission spectroscopy; hexamethyldisiloxane; oxygen; deposition
Popis	Použili jsme optickou emisní spektroskopii ke studování HMDSO/O2 plazmatu a detegovali emisní čáry a pásy těchto částic:CO, CO2+, OH, CH, H, H2, O, N2 a Ar jako aktinomeru. Pozorovali jsme jen velmi slabou emisi pro Si a SiO. S rostoucím (vysokofrekvenčním) výkonem jsme pozorovali rostoucí intezitu emise, způsobenou zřejmě rostoucí elektronové koncentraci. Což bylo potvrzeno koncentraci radikálů pomocí aktinometrie. Změny v procentuálním zastoupení HMDSO nemají značný vliv na složení plynu. Molekuly obsahující kyslík (Co, OH) mají společné maximum pro 16% HMDSO. CH a H mají také podobné trendy s maximem okolo 28%. Naproti tomu intenzita H2 molekuly roste s rostoucím zastoupením HMDSO. Atomární čára kyslíku naopak klesá.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou