Planar UV excilamp excited by a surface barrier discharge
| Název česky | Planární excimerní UV lampa generovaná povrchovým barrieérovým výbojem |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of physics D: Applied physics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | surface barrier discharge; excimer radiation; plasma sources |
| Popis | V příspěvku jsou prezentovány typické charakteristiky planární excimerní lampy využívající explexní molekuly KrCl* XeCl*. Excitace pracovní směsí Kr/Xe/Cl2 je realizována pomocí povrchového bariérního výboje při tlaku 0.1 - 1 bar. Byly měřeny a diskutovány spektra emitovaná plazmatem ve spektrálním oboru UV/VIS/NIR, intensita emitovaného světla v závislosti na celkovém tlaku ve výboji a složení pracovní směsi. |
| Související projekty: |
|