High-resolution three-dimensional imaging of flat objects by synchrotron-radiation computed laminography

• Název česky: Vysocerozlišovací trojdimenzionální zobrazování plochých objektů synchrotronovou výpočetní laminografií
• Autoři: HELFEN L.; BAUMBACH T.; MIKULÍK Petr; KIEL D.; PERNOT P.; CLOETENS P.; BARUCHEL J.
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Applied Physics Letters
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#HelfenBaumbachMikulik-APL-2005
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: laminography; tomography; synchrotron radiation; NDT
• Popis: V článku je vypracována metoda výpočetní laminografie pro synchrotronové záření, a použita pro trojdimenzionální zobrazování rovinných, laterálně rozsáhlých objektů s vysokým prostorovým rozlišením. Konkrétní experimentální podmínky stacionárního synchrotronového zdroje byly vzaty do úvahy pro skenovací geometrii odlišnou od té, která je používána konvenčními laboratorními zdroji. V závislosti na mechanické přesnosti manipulačniho systému vzorku je možné nedestruktivně dosáhnout vysokého prostorového rozlišení až do 1 um, a to i pro laterálně velké vzorky. Dále, vysoká intenzita záření a paralelnost vzorku umožňují použití monochromatického záření pro optimalizaci konstrastu a odstranění artefaktů zobrazení. Simulace a experiment na testovacím objektu demonstrují použitelnost metody. Aplikace pro inspekci pájených kontaktů mikroelektronického čipu ukazuje potenciál metody pro zajištění kvality mikrosystémových zařízení.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
• Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur