Effect of Structural Imperfections on the Characteristics of YSZ Dielectric Layers Grown by E-beam Evaporation fron the Crystalline Taggets
| Název česky | Vliv strukturních nedokonalostí na charakteristiky YSZ dielektrických vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Acta Physica Slovaca |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Yttria stabilized zirconia; thin films; electrical conductivity; microhardness; refractive index; relative permitivity |
| Popis | Merene vrstvicky byly deponovany pomoci e-beam vyparovani na yttriem stabilizovanych zirkoniovych vzorcich na n-dopovanem Si (111) pri teplote 750 C. Mereni elektricke vodivosti a aktivacni energie v zavislosti na koncentraci yttria ukazuje na pritomnost izolovanych kyslikovych iontovych vakanci a s tim spojenych bodovych poruch. Vyledky mereni mechanickych resp. optickych vlastnosti (mikrotvrdost),resp. index lomu ukazuji na vhodnost vyuziti vrstvicek pro ochranné ucely. |
| Související projekty: |