Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
Autoři	MEŠKO Marcel CICMAN Peter OHTSU Y. FUJITA H. KUDRLE Vít
Rok publikování	2004
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of physics D: Applied physics
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	IEDF; large area microwave plasma; sheath
Přiložené soubory	d4_3_022.pdf
Popis	Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek