Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem
Autoři	BUBLAN Martin VAŠINA Petr DE POUCQUES Ludovic BOISSE-LAPORTE Caroline IMBERT Jean-Christophe TOUZEAU Michel
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS 03 Proceeding of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	optical emission spectroscopy; optical absorption spectroscopy; IPVD; magnetron
Popis	Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek