Deposition of teflon like coatings in surface barrier discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Nanášení tenkých vrstev podobných teflonu v povrchovém bariérovém výboji.
Autoři	SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma ŠÍRA Martin NAVRÁTIL Zdeněk DELGADO M.L. JANČA Jan
Rok publikování	2004
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	deoisition; surface barrier discharge; teflon-like
Popis	teflonu podobné tenké vrstvy byly připraveny metodou plazmové polymerace tetrafluoretylénu v plazmatu povrchového bariérového výboje. Byly změřeny základní vlastnosti takto připravených vrstev.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Difuzní koplanární výboje na povrchové úpravy polymerních materiálů a plazmové depozice za atmosférického tlaku