Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

Varování

Publikace nespadá pod Ústav výpočetní techniky, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	NAVRÁTIL Zdeněk ZAJÍČKOVÁ Lenka SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma ČECH Jan KUČEROVÁ Zuzana TRUNEC David
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of 16th ISPC
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Deposition; thin organosilicon polymer films; atmospheric pressure; glow discharge
Popis	Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku Využití povrchového výboje buzeného za atmosferického tlaku pro modifikaci povrchů a depozici ochranných polymerních vrstev Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek